半導体前工程のイエロールームに10年余。ものすごく狭いのに果てしなく広大な生産技術のあるあるを言語化してみるテスト。たまに棚卸してnote化してます↓
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工場におけるボトルネック、についての私考です。「ボトルネックは動くのだ」という言葉に惑わされないで、というお話です。
仮の話として半導体前工程ラインのキャパ設計をしてみる。話を思いっきりシンプルにするために
・単一製品(全30層)
・20ロット(x25枚)/日
を作るラインがほしいとする(1/n
ゲーム始めた初手で「手動の追加エッチングを25枚全選択のまま実行」とか解像度高くて草、通り越して鬱＿|￣|○
台湾の同僚に教えてもらった fab24hr っていう無料の半導体工場ゲーム, 細部まで再現されてて草. 完全に中の人が作ってるやろ
fab24hr.com/ja/?lang=ja&utm_…
月面でゴルフするにはgが足りないよ..
Rapidus keeps marching forward on a fraction of what the old guard spends. I stopped doubting them after they actually groomed a back nine on the roof of their fab.
A few weeks ago they said their lunar chip foundry was "no joke." Hmm..
Coincidence? Wouldn't it be a hoot if Terafab/SpaceX were already talking to IBM and Rapidus about moon chips? I would eat my hat.
蛍石がないと、屈折レンズ系使ってるリソ屋はおまんま食い上げなのです(;;)
digital-sol.nikon.com/produc…
講演の帰り際、東北大学広報の方から「キラキラ研一」いただきました。
これはおそらく… @masakodenki さん、ありがとうございました！
9月吉日、東北大学 田中秀治ラボを見学、大変貴重かつ濃密な機会をいただきました。見学したのは工学研究科機械系キャンパス、そして西澤潤一記念研究センター。5,000平米にもわたるクリーンルームは確実に「生きている」と感じました（つづく
mems.mech.tohoku.ac.jp/devel…
装置ベンダーの企業変遷、渡り歩いた中古品市場、カスタマイズ、そして「いまここ(東北大学の一角）にあり、研究者が稼働させていること。この語りをエピソード止まりにしていいだろうか。これはノウハウです。案内いただいた研究者の方は貴重な語り部でした。はていま民間企業に何人いるか（つづく
リソグラフィエンジニアの戯言 retweeted
院生の時代
彼のPROLITHに
触発されて
初期的な光学系の
MTFからウェハ上
の結像一連工程を
プログラムした
記憶がある
このような人だとは
知らなんだ
おまけ
リソグルことChris Mack氏について推してみた件
note.com/probablyclass1/n/n0…
High NA EUVの縮小投影倍率問題で必須となりつつあるStitching（マスクパターンの継ぎ接ぎ）技術は単にステージ駆動精度に頼らない形で進化しております。微細レイヤーの橋渡しとして上層レイヤーでStitchして繋ぐ（Block and Route）、など成熟してきました。IPブロック配置自由度との競争ですね。
おまけ
リソグルことChris Mack氏について推してみた件
note.com/probablyclass1/n/n0…
それは果たしてStich技術が必要な解像度の話でしょうか？
High-NA halves the exposure field, cutting the maximum die size per shot in half.
For now, stitch two half fields into one die on today's 6" masks.
Long term, 6x12 inch masks are the answer to recover a full die with no seam.
Of course that requires ecosystem alignment, which $ASML and $INTC are spearheading.
